半导体应用

在晶体的生成及离子植入处理过程中,因其制程必须在高温洁净无尘环境下作业,石墨成为了最合适的材质,使用高纯度的石墨及极为精密的加工技术,使半导体产业发展与石墨密不可分,是半导体产业极为关键的材料。


单晶硅生产用石墨-向尚碳精

单晶硅生产用石墨

离子植入用高纯石墨-向尚碳精

离子植入用高纯石墨

单晶硅生产用石墨-向尚碳精

MOCVD 石墨承载盘

MOCVD气旋环-向尚碳精

MOCVD气旋环

MOCVD部件-向尚碳精

MOCVD部件

石墨治具-向尚碳精

石墨治具

Proerty values R-6340 R-6500 R-6510 R-6650
Density g/cm3 1.72 1.77 1.83 1.84
Porosity(Open) % 15 14 10 10
Grain Size μm
15 10 10 7
Hradness Rockwell B 5/100 HRB
80 70 90 95
Young's mouldus Mpa 11000 10500 11500 12500
Flexural Strength Mpa
40 45 60 65
Compressive Strength Mpa
85 90 130 150
Specific electrical resistance
µΩm 16 12 13 14
Thermal expension x10-6K-1 3.2 4.2 4.2 4.1
Thermal conductivity
Wm-1K-1 105 90 105 95
Ash Value
ppm 100 100 100 100