半导体应用
在晶体的生成及离子植入处理过程中，因其制程必须在高温洁净无尘环境下作业，石墨成为了最合适的材质，使用高纯度的石墨及极为精密的加工技术，使半导体产业发展与石墨密不可分，是半导体产业极为关键的材料。
单晶硅生产用石墨
离子植入用高纯石墨
MOCVD 石墨承载盘
MOCVD气旋环
MOCVD部件
石墨治具
| Proerty | values | R-6340 | R-6500 | R-6510 | R-6650 |
| Density | g/cm3 | 1.72 | 1.77 | 1.83 | 1.84 |
| Porosity(Open) | % | 15 | 14 | 10 | 10 |
| Grain Size |
μm |
15 | 10 | 10 | 7 |
| Hradness Rockwell B 5/100 |
HRB |
80 | 70 | 90 | 95 |
| Young's mouldus | Mpa | 11000 | 10500 | 11500 | 12500 |
| Flexural Strength |
Mpa |
40 | 45 | 60 | 65 |
| Compressive Strength |
Mpa |
85 | 90 | 130 | 150 |
|
Specific electrical resistance |
µΩm | 16 | 12 | 13 | 14 |
| Thermal expension | x10-6K-1 | 3.2 | 4.2 | 4.2 | 4.1 |
|
Thermal conductivity |
Wm-1K-1 | 105 | 90 | 105 | 95 |
|
Ash Value |
ppm | 100 | 100 | 100 | 100 |
